在20世紀(jì)60年代，我國(guó)已開(kāi)發(fā)出真空冷凍干燥設(shè)備，當(dāng)時(shí)主要用于制藥行業(yè)。為了拓寬應(yīng)用范圍，我國(guó)又開(kāi)發(fā)出大型真空冷凍干燥設(shè)備，計(jì)劃用于保健品和農(nóng)產(chǎn)品加工領(lǐng)域。但由于當(dāng)時(shí)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求不旺，因此，60年代末至80年代初，真空冷凍干燥設(shè)備行業(yè)一直處于低潮。
1998年開(kāi)始，真空冷凍干燥設(shè)備行業(yè)的市場(chǎng)形勢(shì)趨于好轉(zhuǎn)，銷勢(shì)開(kāi)始回升，處于一個(gè)較好的狀態(tài)。我國(guó)食品、保健品及醫(yī)藥行業(yè)所用的大型真空冷凍干燥設(shè)備，主要是從國(guó)外進(jìn)口的產(chǎn)品，價(jià)格十分昂貴。雖然國(guó)內(nèi)有少數(shù)企業(yè)生產(chǎn)此類設(shè)備，但由于存在技術(shù)、工藝、質(zhì)量方面的問(wèn)題，使這類國(guó)產(chǎn)設(shè)備很難推廣，這些問(wèn)題主要包括：一是加熱不均勻；二是真空度不夠，影響干燥速度。據(jù)測(cè)定，升華干燥的真空度臨界點(diǎn)即三相點(diǎn)為：壓力為4．7mmHg，溫度為0℃。
微波真空冷凍干燥設(shè)備在我國(guó)面市已有10多年的時(shí)間，但多為小型設(shè)備。由于生產(chǎn)該種設(shè)備的技術(shù)難度很大，所以，該種設(shè)備一直未得到很好的推廣。
在生產(chǎn)微波真空冷凍干燥設(shè)備的過(guò)程中，最突出的技術(shù)難題是低氣壓氣體的放電問(wèn)題：處于真空狀態(tài)下的氣體，在稀釋到一定程度時(shí)，在外界加入能量的情況下，會(huì)產(chǎn)生高頻放電現(xiàn)象。低氣壓氣體出現(xiàn)高頻放電現(xiàn)象，產(chǎn)生的危害是微波能輸送不到物料內(nèi)、微波反射嚴(yán)重、毀壞微波爐的密封窗，繼而破壞微波爐內(nèi)的真空狀態(tài)。